樂山恒濕恒濕無塵車間案例解析

? ?長(zhǎng)期服務(wù)于電子行業(yè)的潔凈室，無塵車間建設(shè)中，現(xiàn)對(duì)LED芯片的生產(chǎn)車間要不要

做恒溫恒濕無塵車間，具體工藝怎么樣？無塵車間的溫濕度，潔凈度等具體要求又是多少

進(jìn)行實(shí)際解析：


LED芯片的制造工藝流程?
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? ? ?LED芯片的制造工藝流程： 外延片→清洗→鍍透明電極層→透明電極圖形光刻→腐蝕→去膠→

平臺(tái)圖形光刻→干法刻蝕→去膠→退火→SiO2沉積→窗口圖形光刻→SiO2腐蝕→去膠→N極圖形光

刻→預(yù)清洗→鍍膜→剝離→退火→P極圖形光刻→鍍膜→剝離→研磨→切割→芯片→成品測(cè)試。



? ? 具體要不要做無塵車間決取于你在以上LED芯片的上游還是下游，具體的生產(chǎn)工藝包括哪些？像

我們給**LED芯片客戶無塵車間工藝?yán)锩嬗泻附踊蛘咤a膏或者有光刻曝光工藝的都會(huì)受溫濕

度影響的，因?yàn)闇囟葧?huì)影響錫膏的活性，對(duì)于里面所添加的助焊劑的相關(guān)溶劑的活性有一定的影響。

溫度高會(huì)增加其的活性，最終影響絲印貼裝及回流的效果。容易出現(xiàn)虛焊，焊點(diǎn)不光澤等現(xiàn)象。

濕度的大小回引起錫膏在空氣中吸入水氣的多少，如過吸如過多水氣，會(huì)使回流時(shí)產(chǎn)生氣空，飛漸，

連焊等現(xiàn)象。

? ?工程部在給客戶大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中，作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱

膨脹系數(shù)的差要求越來越小。直徑100 um的硅片，溫度上升1度，就引起了0.24um線性膨脹，所以必

須有±0.1度的恒溫，同時(shí)要求濕度值一般較低，因?yàn)槿顺龊挂院螅瑢?duì)產(chǎn)品將有污染，特別是怕鈉的半

導(dǎo)體車間，這種車間不宜超過25度。濕度過高產(chǎn)生的問題更多。相對(duì)濕度超過55%時(shí)，冷卻水管壁上

會(huì)結(jié)露，如果發(fā)生在精密裝置或電路中，就會(huì)引起各種事故。相對(duì)濕度在50%時(shí)易生銹。

根據(jù)我們多年總結(jié)的經(jīng)驗(yàn)得出

LED芯片（MOCVD，外延）

LED封裝封裝-應(yīng)用

前者LED芯片外延潔凈車間特點(diǎn)：

大排風(fēng)、特氣二次配

后者LED封裝封裝潔凈車間特點(diǎn)：

防靜電、加濕、調(diào)膠-隧道爐-烤箱排風(fēng)、

其中做LED應(yīng)用（LAMP）的普遍要求低

?? 回望當(dāng)年我們給客戶****做LED裝封潔凈廠房，惠州，珠三角廣州，深圳每年一期潔凈室，每期潔凈室

最少兩層樓，每期潔凈室均會(huì)要求要恒溫恒濕空調(diào)。

慶幸LED行業(yè)又到蓬勃發(fā)展時(shí)期，凈化工程有限公司將竭誠(chéng)為新老客戶提供力所能及的服

務(wù)：LED芯片-封裝-應(yīng)用潔凈室規(guī)劃、施工、節(jié)能改造。
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?LED屬于電子行業(yè)除了生產(chǎn)之外還需要對(duì)產(chǎn)品品質(zhì)進(jìn)行試驗(yàn)，根據(jù)國(guó)家GB 2423.11-1982標(biāo)準(zhǔn)，電工電

子產(chǎn)品基本環(huán)境試驗(yàn)規(guī)程對(duì)其試驗(yàn)環(huán)境是有嚴(yán)格要求的.

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以下由于篇幅有限只列出國(guó)家有關(guān)電子行業(yè)最標(biāo)準(zhǔn)的測(cè)試環(huán)境：
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? 通常包括：預(yù)處理（必要時(shí)）；初始檢測(cè)（必要時(shí)）；條件試驗(yàn)；中間檢測(cè)；恢復(fù)（必要時(shí)）；

最后檢測(cè)。

?(1)基準(zhǔn)標(biāo)準(zhǔn)大氣條件? 指溫度為20°C,氣壓為101.3kPa(1013mbar)時(shí)的大氣條件。

(2)仲裁試驗(yàn)的標(biāo)準(zhǔn)大氣條件? 一種統(tǒng)一規(guī)定的測(cè)試用標(biāo)準(zhǔn)大氣條件。

?(3)試驗(yàn)的標(biāo)準(zhǔn)大氣條件 溫度：15--35 相對(duì)濕度：45--75% 氣壓：86--106kPa

(4)恢復(fù)條件

?a.無特殊規(guī)定時(shí)為在試驗(yàn)的標(biāo)準(zhǔn)大氣條件下恢復(fù)。?

b.如對(duì)溫度條件的變化十分敏感，則應(yīng)在控制恢復(fù)條件下恢復(fù).? 溫度：實(shí)驗(yàn)室溫度±2°C,但不超過15--

35°C的范圍。 相對(duì)濕度為72%--78%，氣壓：86--106kPa
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主營(yíng)產(chǎn)品或服務(wù)：
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1、潔凈車間、潔凈廠房、凈化車間、凈化廠房、無塵室、凈化工程、潔凈工程、潔凈手術(shù)室、層流手

術(shù)室、無塵廠房等潔凈室工程凈化設(shè)計(jì)、施工、調(diào)試、維護(hù)保養(yǎng)等；
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2、100級(jí)到1000萬級(jí)別的潔凈手術(shù)室、無塵無菌室、動(dòng)物實(shí)驗(yàn)室,整體實(shí)驗(yàn)室設(shè)備工程，食品車間凈化

工程，LED顯示屏無塵車間，化妝品無塵室等；
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3、企業(yè)、醫(yī)院、酒店、工廠、商場(chǎng)、辦公大樓空調(diào)工程,水電、配管、電力、機(jī)電設(shè)備工程；
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4、彩鋼板工程，各種防塵、抗靜電環(huán)氧樹脂地坪、防靜電PVC地板工程；
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5、線路板、背光源、模組、印刷潔凈廠房恒溫恒濕工程；中央空調(diào)工程，冷庫熱水工程，凈化工程。
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